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电铸模具制作流程


 电铸模具制作流程:

(1)模具基底前处理包括高纯度镍基板的机械加工前处理和表面清洗,表面清洗采用有机溶剂除油法,有机溶剂采用丙酮和乙醇;

    (2)在微电铸母模的制作工序中,SU-8光刻胶与种子层采用光刻技术中的套刻工艺,通过光刻胶的显影得到自由空间;

    (3)在微电铸工序中,将电铸镍金属填充于自由空间中,微电铸电铸液的配方为氨基磺酸镍:360~380g/L、氯化镍:5~10g/L、硼酸:50~60g/L;微电铸工艺条件为:PH值:3.5~4.0、温度:50℃~55℃、电流密度1~2A/dm2。

    (4)在微电铸后处理工序中,先进行真空退火处理,其温度为200~800℃、时间为60~200分钟;再进行精磨加工。 按照该方法制作的微电铸金属模具具有侧壁垂直度、表面光洁度好的优点,解决基于模塑法、热压法的大规模、低成本生产的聚合物、塑料产品质量低下的问题。适用于有机聚合物、塑料的微细加工。


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